更新時間:2024-06-24
產(chǎn)地 | 進口 | 加工定制 | 是 |
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質(zhì)保 | 1年 |
日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器:
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環(huán)境下
±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號更加通用
日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器
性能參數(shù):
電器連接:
★使用注意
一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。
二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。
三:安裝前,請將設(shè)備管路進行整體吹掃。
四:耐壓1.0Mpa,進口大壓力5公斤。
五:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。
警告
流量范圍附帶的規(guī)格(流量范圍,精度等)是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
有關(guān)MFC規(guī)格,請單獨查詢。
接線連接
Dsub 9針KFC標準引腳排列
日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器
尺寸圖: